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電能質量監(jiān)測裝置在某半導體公司的應用

更新時間:2023-05-10      瀏覽次數(shù):244
摘 要:半導體生產制造業(yè)在國民經濟中起著舉足輕重的作用,相關企業(yè)的規(guī)模也越來越大。其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運維不僅是其安全生產的基本保證,還關系到產品質量和生產的順利進行。而半導體行業(yè)中大部分工藝設備對電能質量比較敏感,電壓暫降、諧波等電能質量問題會導致設備損壞、生產材料報廢等產生較大的經濟損失。因此,需要對半導體行業(yè)裝設電能質量監(jiān)測裝置來監(jiān)測供電的電能質量。
關鍵詞:半導體;電能質量;電壓暫降;諧波 
 
       1 項目概況
       在政策的引導下,電子行業(yè)發(fā)展迅速,同時新建了大量電子行業(yè)工廠。工廠用電量大且大部分工藝需要不間斷運行,配電系統(tǒng)結構復雜,設備一旦意外斷電會導致重大損失,這就需要對供電可靠性要求非常高,對故障比較敏感;大部分工藝設備對電壓、電流比較敏感,電壓電流的變化會導致設備損壞、生產材料報廢等問題;并且工廠電壓等級比較多,出于供電可靠性要求和工藝設備需要電壓等級不同,工廠配電電壓從110kV到66kV、35kV、10kV、0.48kV、0.4kV不等,涉及的各電壓等級變壓器數(shù)量非常多。針對以上情況,需要配置電能質量監(jiān)測裝置來監(jiān)測用電電能質量情況,為后續(xù)改善電能質量提供依據(jù)。  
       某半導體有限公司成立于2018年05月29日,注冊地位于四川省成都高新區(qū)。經營范圍包括OLED等平板顯示屏材料、電子材料及其相關產品的研發(fā)、測試、生產、銷售、技術服務、技術咨詢及其售后服務;提供分撥、保稅倉儲(不含危險化學品)、保稅加工服務;貿易、轉口貿易、保稅區(qū)企業(yè)間貿易以及區(qū)內貿易代理;電子產品及其零部件、相關化工原料(不含危險化學品)的進出口、批發(fā)、及相關配套業(yè)務(禁止或涉及行政審批的貨物和技術進出口除外)。
       2 項目需求
       本次項目為某半導體有限公司10/0.4KV用戶變電站項目,該變電站供電系統(tǒng)為單母線供電系統(tǒng),共設一面高壓進線柜、一面計量柜、一面母線PT柜和四面專變出線柜。由于該公司主要生產電子材料、芯片等半導體設備,而半導體芯片制造生產中主要存在以下電能質量問題:
       1、諧波問題
       IC測試臺、PLC控制的機械手、芯片制造用的晶圓機或變頻控制的半導體機臺都會產生大量的諧波,它們不但會造成機臺設備自身的壞機現(xiàn)象,回流進電網(wǎng)的諧波電流還會引起其他回路的發(fā)熱、電子開關誤動作、供電電壓不穩(wěn),甚至引起生產線停線、半成品的報廢。而且高能設備如:外延設備、擴散設備、離子注入設備的頻繁加卸載,更加重了用電環(huán)境的惡化。
       2、電壓暫降及中斷
       現(xiàn)代化的半導體生產設備對電力品質問題非常敏感,相對于傳統(tǒng)工業(yè)來說,半導體、LCD制造對電壓暫降非常敏感,持續(xù)16ms的幅值為額定值85%-90%電壓暫降即可能導致設備停機。電壓暫降與短時中斷的差別在于短時中斷時負載一般與供電系統(tǒng)基本斷開(幅值低于額定值的10%),而電壓暫降發(fā)生時負載仍與電源連接。對于半導體行業(yè)而言,兩者均會造成設備停機,產生的結果是相同的,但是電壓暫降發(fā)生的幾率遠高于短時中斷會發(fā)生的幾率。調查顯示:在所有配電系統(tǒng)事故中,電壓暫降引起的事故占了70%-80%;而在輸電系統(tǒng)事故中,電壓暫降引起的事故所占的比例超過了90%。
停機的概念在傳統(tǒng)產業(yè)中只是生產暫時的中斷,而對半導體、LCD生產來說就是一次災難。因為半導體、LCD生產設備的停機會造成大量直接損失和間接損失。這些損失包括:
       1)直接損失:半導體產品硅片損壞和浪費、設備壽命縮短甚至損壞、清理產線的人工成本等。
       2)間接損失:重新啟動生產線需要的時間、降低產品品質、延誤交貨時間等。
       發(fā)改委經濟調節(jié)運行局曾開展了電能質量經濟性影響調查,經過大量的調研與分析,都表明電壓暫降與短時中斷都是*為顯著的電能質量問題,成為供用電雙方共同面臨的挑戰(zhàn)。其中半導體行業(yè)因電能質量擾動帶來的生產損失高居前位。
因此,為了實時監(jiān)測供電的電能質量,在本項目的高壓配電進線柜處裝設一臺電能質量監(jiān)測裝置APView500,同時為了保證整個配電系統(tǒng)日常安全穩(wěn)定運行,在每面高壓開關柜裝設一臺AM5系列微機保護裝置和一臺ASD200智能操控裝置;為了監(jiān)測各回路的電能,在每面高壓開關柜和低壓柜均配置我司的多功能儀表。各類設備主要實現(xiàn)的功能如下:
       3 系統(tǒng)需求
       為實時監(jiān)視整個配電室的運行以及數(shù)據(jù)采集,該項目配置一套Acrel-2000Z電力監(jiān)控系統(tǒng),其可實現(xiàn)的功能如下:
       1)實時監(jiān)測:以配電一次圖的形式直觀顯示配電線路的運行狀態(tài),可以實時監(jiān)測各回路電壓、電流、功率、功率因數(shù)等電參數(shù)信息,動態(tài)監(jiān)視各配電回路斷路器、隔離開關、地刀等合、分閘狀態(tài)。
圖1 10kV變電站配電監(jiān)測界面
圖2 0.4kV配電室母線配電監(jiān)測界面
       2)電參量查詢:在配電一次圖中,可以直接查看該回路詳細電參量,包括三相電流、三相電壓、總有功功率、總無功功率、總功率因數(shù)、正向有功電能等。
       3)運行報表: 查詢各回路或設備時間的運行參數(shù),報表中顯示電參量信息應包括:各相電流、三相電壓、總功率因數(shù)、總有功功率、總無功功率、正向有功電能等,報表格式有日報表、月報表、年報表等。
圖3 0.4kV電參量查詢界面
       4)實時告警:能夠對配電回路斷路器、隔離開關、接地刀分、合動作等遙信變位,保護動作、事故跳閘等事件發(fā)出告警。
       5)歷史事件查詢:能夠對遙信變位,保護動作、事故跳閘,以及電壓、電流、功率、功率因數(shù)越限等事件記錄進行存儲和管理,方便用戶對系統(tǒng)事件和信息進行歷史追溯,查詢統(tǒng)計、事故分析。
       6)故障錄波:能夠在系統(tǒng)發(fā)生故障時,自動準確地記錄故障前、后過程的各種電氣量的變化情況,通過對這些電氣量的分析、比較,對分析處理事故、判斷保護是否正確動作、提高電力系統(tǒng)安全運行水平有著重要作用。
       7)事故追憶:能夠自動記錄事故時刻前后一段時間的所有實時穩(wěn)態(tài)信息,包括開關位置、 保護動作狀態(tài)、遙測量等,形成事故分析的數(shù)據(jù)基礎。
       8)曲線查詢:能夠查詢實時曲線和歷史曲線,包括三相電流、三相電壓、有功功率、無功功率、功率因數(shù)等所有遙測量。
       9)用戶權限管理:設置了用戶權限管理功能,通過用戶權限管理能夠防止未經授權的操作(如遙控的操作,數(shù)據(jù)庫修改等)。系統(tǒng)可以定義不同操作權限的權限組(如管理員組、工程師組、操作員組等),在每個權限組里分配不同用戶,為系統(tǒng)運行、維護、管理提供可靠的安全保障。
       10)網(wǎng)絡拓撲圖:支持實時監(jiān)視接入系統(tǒng)的各設備的通訊狀態(tài),能夠完整的顯示整個系統(tǒng)網(wǎng)絡結構;可在線診斷設備通訊狀態(tài),發(fā)生網(wǎng)絡異常時能自動在界面上顯示故障設備或元件及其故障部位。
圖4 網(wǎng)絡拓撲圖
       11)遙控功能:根據(jù)電力規(guī)程要求,可以對整個配電系統(tǒng)范圍內的設備進行遠程遙控操作。
       12)通信管理:可以對整個配電系統(tǒng)范圍內的設備通信情況進行管理、控制、數(shù)據(jù)的實時監(jiān)測。
       4 現(xiàn)場安裝圖片
       本項目各類設備均就地安裝于開關柜中,電力監(jiān)控系統(tǒng)主機放置于高壓配電房值班室內中,現(xiàn)場安裝圖片如下。 
       
  
圖5 現(xiàn)場圖片
       5 現(xiàn)場運行情況
       本項目自裝設電能質量監(jiān)測裝置起,對電力系統(tǒng)中出現(xiàn)的故障情況均可靠監(jiān)測,在此過程中,出現(xiàn)多次電壓暫降,事件記錄如圖6。去年2022年10月份由于限電,出現(xiàn)過一次電壓暫降,暫降深度為1380V,持續(xù)時間為0.039s,如圖7;2023年1月23日發(fā)生過一次電壓暫降,暫降深度為2999V,持續(xù)時間為0.620s,由于春節(jié)期間,用戶單位放假,所有設備均停運,故未造成損失,如圖8;圖9為2月9號電力系統(tǒng)發(fā)生故障造成的電壓暫降事故監(jiān)測界面,暫降深度為3453V,持續(xù)時間為0.637s,造成現(xiàn)場所有變頻器均停機,且照明燈也出現(xiàn)閃變的現(xiàn)象,該事件記錄的時間和故障類型均和電力公司反饋的情況吻合,得到用戶的認可。
             
圖6 電壓暫降事件記錄                    圖7  10月28日電壓暫降事件記錄
               
圖8  1月23日電壓暫降事件記錄          圖9  2月9日電壓暫降事件記錄
       6 結語
       半導體滲透到我們工作、生活的方方面面,隨著生活水平的提高,我們對芯片制造需求也越來越多。但伴隨信息技術的飛速發(fā)展,基于計算機、微處理器的用電設備和各種電力電子設備在電力系統(tǒng)中大量投入使用,它們對系統(tǒng)干擾比機電設備更加敏感,對供電質量的要求也更為苛刻,相對低劣的電能質量嚴重影響了靈敏設備的安全運行。本文介紹的電能質量監(jiān)測裝置可以針對供電電能質量起到監(jiān)測作用,為電能質量治理提供可靠依據(jù)。
參考文獻
[1] 安科瑞企業(yè)微電網(wǎng)設計與應用手冊.2020.6月版
[2] 安科瑞用戶變電站綜合自動化與運維解決方案.2021.11月版
 


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